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      潔凈烘箱在集成電路制造中的用途

      發布時間:2022-05-07   點擊次數:415次
        集成電路封裝:指安裝集成電路芯片用的外殼。它不僅起著安裝、固定、密封、保護芯片及增強電熱性能等方面的作用,而且還通過芯片上的接點用導線連接到封裝外殼的引腳上,這些引腳又通過印刷電路板上的導線與其他器件相連接。
       
        集成電路測試:指通過目檢或物理測試方式,檢查封裝后產品的外觀、電氣特性、可靠性、運行速度等。
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        然而在集成電路封裝、測試工藝流程中潔凈烘箱的是比不可少的生產設備,其中以下工藝段中需要潔凈烘箱設備。
       
        裝片固化(銀膠固化烘箱):將裝片完成后的框架送入前道烘箱,關閉倉門,通入氮氣,然后開啟烘箱電源,使箱內溫度提升至 175℃,固化時間持續約 1 小時,從而使裝片時使用的導電銀膠固化。
       
        塑封固化:注塑完成后,工件轉移至固化加熱爐,采用電加熱的方式對其進行保溫固化,固化溫度維持在 175℃,固化時間為 8 小時。塑封固化的主要作用是消除塑封料內部的應力。
       
        潔凈烘箱
       
        潔凈烘箱,百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
       
        潔凈烘箱技術性能
       
        潔凈等級:Class 100;
       
        溫度范圍:RT+10~250/450℃;
       
        溫度均勻度:±1.5%℃;
       
        溫度波動度:±1℃(空載);
       
        溫控精度:0.1℃;
       
        內腔尺寸:600*600*500(mm),可定制尺寸、多箱體一體式;
       

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