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      高溫無氧烘箱,充氮高溫 無氧烤箱

      高溫無氧烘箱,充氮高溫 無氧烤箱

      簡要描述:

      高溫無氧烘箱,充氮高溫 無氧烤箱應用于MEMS智能傳感器芯片生產、LCD前工段生產、玻璃基板等工藝中的PI(聚酰亞胺)固化,BCB聚合物、PBO高溫固化,銀膠固化,光刻膠固化,鍍金方案中感濕膜烘烤工藝,車載玻璃鍍膜后退火,硅片(晶圓)高溫退火,PCB板防氧化烘烤,氟橡膠材料厭氧烘烤工藝,電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求

      高溫無氧烘箱,充氮高溫 無氧烤箱應用工藝

             應用于MEMS智能傳感器芯片生產、LCD前工段生產、玻璃基板等工藝中的PI(聚酰亞胺)固化,BCB聚合物、PBO高溫固化,銀膠固化,光刻膠固化,鍍金方案中感濕膜烘烤工藝,車載玻璃鍍膜后退火,硅片(晶圓)高溫退火,PCB板防氧化烘烤,氟橡膠材料厭氧烘烤工藝,電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于工廠生產、高校研究、科研機構研發等.



      高溫無氧烘箱,充氮高溫 無氧烤箱技術性能


      工作室尺寸

         

      W350mm×350mm×H350mm

      W450mm×450mm×H450mm

      W500mm×500mm×H500mm

      W500mm×600mm×H700mm(可 定制)


      材質: 內箱采用耐高溫SUS304不銹鋼,外箱采用優質冷軋板噴塑(可定制)

        

       溫度范圍: RT+50~450/550℃  

        

      溫度分辨率: 0.1℃


       溫度波動度:≤±1℃

        

       溫度均勻度:≤±1.5%℃

         

      潔凈度:Class1000   (可選class100)


       升溫速率:1~10℃/min,(可定制15℃/min)

         

      降溫速率: 高溫降溫至80度平均約4.0℃/min 

         

      氧含量:氧含量≤20ppm  

         

      數據輸出: 氧含量分析儀,六點溫度記錄儀

         

      操作方式:人機界面+PLC,可程式/定制運行

         

      樣品架:2-10層不銹鋼沖孔樣品架

         



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