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      上海百級潔凈烘箱

      上海百級潔凈烘箱

      簡要描述:

      上海百級潔凈烘箱用于精密電子元件、高溫烘烤、堅膜烘烤、半導體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測試、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求

      上海百級潔凈烘箱

          光刻工藝的八道工序為:晶圓清洗、預烘培和底漆涂敷、光刻膠自旋涂敷、軟烘烤、對準和曝光、曝光后烘烤,以及顯影、硬烘烤和圖形檢測,然而工藝中的烘烤步驟需要百級潔凈烘箱來完成。百級潔凈烘箱也應用于精密電子元件、高溫烘烤、堅膜烘烤、半導體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測試、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.

      上海百級潔凈烘箱技術性能:

      無塵等級:Class 100;     

      溫度范圍: RT+20~250/ 350/500℃;

      溫度均勻度:±2%℃;    

      溫度波動度:±1℃     

      溫控精度:±0.1℃;        

      工作尺寸:350*350*350,450*450*450*,500*500*500,600×600×500,多尺寸定制

      百級潔凈烘箱操作界面

      采用液晶觸摸屏溫度控制器,內置曲線查詢、

      PID自整定、高溫上限報警、

      運行方式:定值、程式

      語言:中、英文



      智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)用途:

        將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。

      智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)特點:

      HMDS 藥液泄漏報警提示功能

      HMDS低液位報警提示功能

      工藝數據記錄功能

      藥液管道預熱功能

      程序鎖定保護等功能

      智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)技術性能:

      1.尺寸(深*寬*高)

      內腔尺寸:450×450×450(mm)(可定制)

      2. 材質

      外箱采用冷軋板噴塑,內箱采用 316L 醫用級不銹鋼

      3.溫度范圍

      RT+50-250℃

      4.溫度分辨率

      0.1℃

      5.溫度波動度

      ≤±0.5

      6 真空度

      ≤133pa(1torr)

      7.電源及總功率

      AC 220V±10% / 50HZ,總功率約 3.5KW

      8.控制儀表

      人機界面

      9.擱板層數

      2 層

      10.HMDS控制

      可控制HMDS 藥液添加量

      11.真空泵

      無油渦旋真空泵





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